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系统信息:
  • 系统名称:万伏级高压功率器件测试系统

  • 系统功能简介及应用背景: 配备有8英寸半自动大功率高低温探针台的功率器件分析仪可以有效实现最高近万伏高压、20A高流及中功率器件在高低温不同工作环境下交直流电学特性的全面分析测试,半自动操作为高压、高流态测试提供了安全保障。

设备清单:
  • (1)8英寸大功率半自动高低温探针台

  • (2)功率器件分析仪

测试、科研内容:
  • (1)支持3kV电压偏置晶圆自动CV曲线测试。

  • (2)支持10kV 功率器件IV曲线测试;

  • (3)支持3kV 晶圆 CV测试。

  • (4)支持器件的3kV/20A晶圆测试功能。

  • (5)支持10kV IV 晶圆测试功能。

  • (6)支持车规功率芯片测试

  • (7)支持特高压芯片测试

系统图片: