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系统信息:
  • 系统名称:铁电芯片与器件分析系统

  • 系统功能简介及应用背景: 该系统可用于测量铁电材料与器件的微观材料特性、阻抗、动态电滞回线、初始电滞回线、电滞IV曲线、静态电滞回线、疲劳、脉冲(PUND)、漏电流、保持力、印迹、C-V曲线、损耗曲线等。

设备清单:
  • (1)铁电分析仪

  • (2)压电力显微镜(PFM)

  • (3)LCR测试仪

  • (4)室温~200oC 6英寸探针台

测试、科研内容:
  • 该系统可通过DHM模块在输入脉冲频率、波形、电压幅值、平均次数、电流范围等参数后实现不同脉冲条件下动态电滞回线的测试;通过SHM模块在输入频率、电压幅值、弛豫时间等参数后实现静态电滞回线的测试;可通过CVM模块在输入测试类型、电压幅值、预极化、小信号波形等参数后实现不同小信号条件下电容电压曲线测试;可通过PM模块在输入波形、预定义脉冲方向、读写脉冲宽度、上升下降时间、脉冲间隔时间等参数后实现PUND脉冲性能测试;可通过LM模块在输入步进时间、最大电压、预极化、电压偏置、自动适应等参数后实现漏电流曲线测试;可通过PM模块在输入疲劳电压、疲劳频率、疲劳波形、偏置电压、疲劳次数等参数后实现不同疲劳脉冲条件下的疲劳特性测试;可通过IM模块在输入测试点数、总时间、印记状态、老化信号频率、老化信号电压幅值、老化时间等参数后实现不同老化条件下的印记测试;可通过RM模块在输入最大保持时间、保持信号类型、每个数量级测试点数、干扰信号、正反向电压、偏置电压、脉冲宽度、响应速率等参数后实现不同读写脉冲条件下的保持性能测试。

系统图片: