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集成电路测试中心

西安电子科技大学杭州研究院集成电路测试中心,针对国家集成电路产业与科技人才需求,针对浙江省先进制造业基地的人才培养与技术研发需求,围绕集成电路与半导体产业重点领域,结合校企合作与国际合作,支撑西电杭州研究院相关实验室与培养行业复合型科技人才。该平台首期投入经费4000多万元,已配置与量子计算、先进集成电路晶圆测试、先进集成电路制造、后摩尔器件与芯片表征测试、电力电子测试、功率电子测试、光电测试表征、人工智能芯片系统测试对应的大型科研设备30台套。着力建设覆盖半导体材料与器件表征,高端芯片加工、封装测试的实验平台。

科研上主要支撑西安电子科技大学杭州研究院的集成电路学科建设;面向国家重大需求,支撑国家“三重项目”的申请与研究。以中心为主体支撑省部级重点实验室与工程创新中心的申请。

产业上服务浙江省“全球先进制造基地”建设,服务集成电路技术自主发展的国家重大战略需求,围绕浙江省“建设全球先进制造业基地”的远大目标,促进我国集成电路技术的发展与创新。

人才培养方面以提升西安电子科技大学杭州研究院微电子、集成电路学科水平为目标,促进杭研院集成电路学科的研究生的培养,平台建设有助于全球一流青年科技人才的引进。

图1  集成电路测试中心大型设备系统及功能简介
图2  测试流程